Ürüne genel bakış
Özelleştirilmiş Çözüm çok-işlevli iyon implantasyonu, özel-yönelimli bir iyon implantasyon platformudur. Araştırma enstitülerini, üniversiteleri ve küçük-partili özel-proses yarı iletken üretim hatlarını hedefleyen bu ekipman, hem gaz hem de katı iyon kaynaklarını destekler. Hedef odası, yüksek-sıcaklık ve düşük-sıcaklık implantasyon modlarıyla yapılandırılabilir. Malzeme modifikasyonu, ileri-malzeme araştırması, pilot-hat yarı iletken üretimi ve düzensiz küçük boyutlu alt tabakalar için özel-numune implantasyonu için son derece uyarlanabilir. Platform, müşteriye özel süreç gereksinimlerine göre kişiselleştirilmiş donanım ve işlev özelleştirmesini destekler.
Avantajları
Son derece özelleştirilebilir mimari: Çeşitli standart dışı süreç gereksinimlerine uyacak şekilde iyon kaynağı, hedef odası, levha tutucu ve ışın-hattı modüllerinin esnek-konfigürasyonu. Hedef odacık için hem yüksek-sıcaklık hem de kriyojenik implantasyon modları mevcuttur.
Çift-modlu iyon-kaynak uyumluluğu: Malzeme bilimi ve yarı iletken Ar-Ge için çok çeşitli implant iyon türlerini kapsayan, gazlı kaynak ve katı kaynak çalışmasını destekler.
Geniş alt tabaka uyarlanabilirliği: Standart 4-/6 inçlik plakaların yanı sıra düzensiz küçük parçalarla da çalışarak laboratuvar ölçekli araştırmalar için numune form faktörü üzerindeki kısıtlamaları ortadan kaldırır.
Geniş levha-sıcaklık ayarlama aralığı: Oda sıcaklığından 550 dereceye kadar proses sıcaklığını destekler ve isteğe bağlı soğutma hedefi bölmesi, sıcaklığa-hassas malzeme deneyleri için istek üzerine yapılandırılabilir.
Ar-Ge senaryoları için kullanıcı-dostu: Basitleştirilmiş tarif kurulumu, uygun ışın-hattı hata ayıklaması ve esnek toplu veya tek-numune enjeksiyonu, akademik araştırma ve küçük hacimli pilot-üretim için çok uygundur.
Uygulamalar
Akademik araştırma ve öğretim: Üniversite laboratuvarları, araştırma enstitüsü materyal-bilim deneyleri
Malzeme modifikasyonu: Metallerin, seramiklerin, polimerlerin ve yeni fonksiyonel malzemelerin iyon- ışın demeti modifikasyonu
Özel yarı iletken pilot üretimi: Küçük-parti bileşik-yarı iletken cihaz deneme üretimi
Düzensiz küçük-boyutlu numuneler için özel-özel işlem implantasyonu
Parametreler
|
Öğe |
Şartname |
|
Gofret / Numune Boyutu |
6 inç, 4 inç veya düzensiz küçük parçalar |
|
Enerji Aralığı (Tek Şarj) |
30-200 keV |
|
İmplant Çeşitleri |
P, B, As, Fe, H, He ve diğer özelleştirilmiş iyonlar |
|
Proses Gofret Sıcaklığı |
RT-550 derece; talep üzerine isteğe bağlı soğutma hedef odası |
SSS
S: Özelleştirilmiş Çözüm çok işlevli implanter esas olarak hangi müşterilere yöneliktir?
C: Üniversitelere, bilimsel araştırma enstitülerine ve küçük ölçekli özel proses yarı iletken pilot üretim hatlarına yöneliktir. Ana akım entegre devre fabrikalarının yüksek hacimli seri üretiminden ziyade Ar-Ge ve küçük seri deneme çalışmalarına odaklanıyor.
S: Bu makine standart olmayan düzensiz küçük numuneleri işleyebilir mi?
C: Evet. Standart 4 inç ve 6 inçlik levhaların yanı sıra düzensiz küçük boyutlu numuneleri de destekler. Numune tutucular müşteri numune boyutlarına göre özelleştirilebilir.
S: İmplantasyon sırasında hangi sıcaklık seçenekleri mevcuttur?
C: Standart konfigürasyon RT 550 derece yüksek sıcaklıkta implantasyonu destekler. Özelleştirilmiş bir seçenek olarak düşük sıcaklık prosesi için bir soğutma hedef odası eklenebilir.
S: Ekipman hangi iyon kaynağı modlarını destekliyor?
A: B, P, As, Fe, H, He ve diğer iyon türlerini kapsayan hem gaz halindeki iyon kaynağı hem de katı iyon kaynağı ile uyumludur; ekstra iyon türleri özelleştirilmiş modifikasyon yoluyla gerçekleştirilebilir.
S: Diğer SEMICORE ZKX üretim sınıfı implanterlerle işbirliği yapabilir mi?
C: Evet. CIP serisi orta akım, CIC serisi yüksek akım, CIE 8000 yüksek enerji implanterleri ile birlikte çalışabilmektedir. Özelleştirilmiş platform, üretim sınıfı ekipmanlarda seri üretim öncesinde ön araştırma ve tarif araştırması için kullanılabilir.
S: Bu özelleştirilmiş platform için hangi hizmetler alınabilir?
C: SEMICORE ZKX, araştırma odaklı projeler için şema özelleştirme, ekipman kurulumu ve devreye alma, yedek parça tedariği, yerinde teknik destek ve yardımcı süreç araştırma hizmeti sağlar.
Popüler Etiketler: sic iyon implanter, Çin sic iyon implanter üreticileri, tedarikçiler
