Ürüne genel bakış
Düşük-Sıcaklık RTP Ekipmanı: Lityum niyobat ve silikon gibi malzemelerin ısıl işlemlerini etkili bir şekilde gerçekleştirerek 250 dereceden 500 dereceye kadar olağanüstü hassas sıcaklık kontrolü sunar.
Parti başına 150 8-inçlik levhaları işleyebilir ve ayrıca 6 inçlik levhaları da işleyebilir. Kafes kusurlarını etkili bir şekilde ortadan kaldırarak hem araştırma pilot projeleri hem de seri üretim için uygun hale getirir.
Düşük-Sıcaklık RTP Ekipmanı etkili parçacık kirliliği kontrolü, cihaz performansını önemli ölçüde iyileştirerek yarı iletken endüstri zincirinde istikrarlı üretime büyük katkıda bulunur.
Avantajları
1.Orta ve düşük sıcaklık kontrolü son derece hassastır-silikon plaka arayüzündeki kusurları büyük ölçüde azaltır ve süreç stabilitesini ve tekdüzeliği sağlam tutar.
2. Ekipman güvenilir bir şekilde çalışır ve optoelektronik cihaz imalatına yönelik katı hassasiyet ihtiyaçlarını tamamen karşılar.
3. Kapasite tasarımı, Ar-Ge ile seri üretimi dengeleyen- bir noktadır. Tek-toplu çıktı yeterlidir, böylece ekipmanı değiştirmeden üretim aşamaları arasında geçiş yapabilirsiniz.
4. Etkin arıtma ve sabit sıcaklık kontrolü ile partikül kirliliğini kaynağında çözüyoruz. Aynı zamanda cihaz yalıtımını ve ışık alanı modülasyonunu artırarak yüksek verim için sağlam bir temel oluşturur.
Uygulamalar
1. Yarı İletken Cihaz İmalatı:
CMOS, IGBT'ler ve diğer cihazların-wafer arayüzü kafes kusurlarını doğrudan 250 derece -500 derece düşük sıcaklık aralığında yok etmesini sağlamak için çalışır. Malzemenin elektriksel özelliklerini artırır, cihazları daha güvenilir hale getirir, seri üretim verimini artırır ve parti performansını tutarlı tutar.
2. Optoelektronik Cihaz İmalatı:
VCSEL'lere, fotodetektörlere ve benzeri ürünlere uyar. Tavlama sırasında parçacık girişimini azaltır, böylece silikon levha arayüz kalitesi sağlam kalır. Ayrıca ince film yoğunluğunu, optik alan sınırlamasını ve elektrik yalıtımını iyileştirir-ayrıca lityum niyobat ve diğer malzemelerle uyumludur ve entegre optik cihaz üretimini destekler.
3. Araştırma ve Süreç Doğrulaması:
Silisyum karbür ve kuantum çipleri gibi son teknoloji ürünler üzerinde{0}çalışan üniversiteler ve laboratuvarlar için mükemmeldir. Süreçleri sabit tutan hassas sıcaklık kontrolüyle, küçük-toplu deneyler ile büyük-ölçekli işlemler arasında kolaylıkla esneklik sağlar. Proses parametrelerinin ayarlanmasına ve teknolojik atılımların gerçekleştirilmesine yardımcı olur.
Parametreler
|
Gofret boyutu |
8 inç (6 inç ile uyumlu) |
|
Sıcaklık aralığı |
250 derece -500 derece |
|
Düz bölge |
860mm |
|
Yükleme kapasitesi |
150 gofret/parti |
|
Uygulanabilir Malzemeler |
Lityum niyobat, silikon vb. |
SSS
Bu Düşük-Sıcaklıklı RTP Ekipmanı hangi levha boyutlarını işleyebilir?
Esas olarak 8-inçlik levhaları işler ve 6 inçlik olanlar da işe yarar. Küçük ve orta büyüklükteki yarı iletkenlerin ve optoelektronik cihazların işlenmesi için mükemmeldir.
Sıcaklık kontrol aralığı ve doğruluğu nasıl? Düşük sıcaklıktaki- proseslerin gereksinimlerini karşılayabilir mi?
Sıcaklık 250 dereceden 500 dereceye kadar değişir ve kontrol son derece hassastır. Sabit sıcaklık bölgesi 860mm uzunluğundadır, dolayısıyla düşük-sıcaklık aralığını doğru şekilde düzenler-yarı iletkenlerin ve optoelektronik cihazların düşük-sıcaklıkta ısıl işlem ihtiyaçlarını tamamen karşılar!
Parti başına işlenebilecek maksimum gofret sayısı nedir? Hem araştırma hem de seri üretim için kullanılabilir mi?
Parti başına 150 gofret. Bu, üniversitelerdeki ve laboratuvarlardaki küçük-toplu deneyler için yeterlidir ve aynı zamanda her iki taraf için de kurumsal seri üretim çalışmalarının-verimlilik ihtiyaçlarını karşılar.
Hangi malzemeleri işleyebilir? Yaygın olarak kullanılan optoelektronik cihazlarla uyumlu mu?
Lityum niyobat ve silikon gibi malzemeleri işleyebilir. CMOS ve IGBT'ler gibi yarı iletken cihazların yanı sıra VCSEL'ler gibi optoelektronik cihazların yapımı için idealdir. Tüm ana malzeme gereksinimlerini kapsar.
Parçacık kirliliği kontrolü gibi prosesin stabilitesini ne garanti eder?
İşleme sırasında partikül girişimini azaltmak için gelişmiş partikül kontaminasyon kontrolüne ve etkili arıtma teknolojisine sahiptir. Ayrıca, yüksek-hassas sıcaklık kontrolü, oksidasyon ve tavlama gibi süreçlerin tekdüze ve istikrarlı kalmasını sağlar-ürün verimi konusunda endişelenmenize gerek yoktur.
Popüler Etiketler: düşük-sıcaklık rtp ekipmanı, Çin düşük-sıcaklık rtp ekipmanı üreticileri, tedarikçileri
