Ürüne genel bakış
Dikey Gofret Kurutucu -bu, hassasiyet göz önünde bulundurularak üretilmiştir ve bu sektörlerin katı talepleri için özel olarak tasarlanmıştır.
Onu pratik kılan nedir? Başlangıç olarak, iki bağımsız oda-vardır, böylece farklı işlemleri çapraz-bulaşma olmadan aynı anda yürütebilirsiniz; bu da yoğun üretim hatlarında büyük bir zaman-tasarrufu sağlar. Ayrıca gelişmiş kontrol sistemi var; yalnızca bazı şeyleri "kontrol etmekle" kalmaz, aynı zamanda-tutarlılığı sağlam tutmak için her parametreye ince ayar yapar-. Ve en iyi yanı, temizleme ve kurutmayı tek bir ünitede birleştirmesidir-waferleri makineler arasında taşımaya gerek yoktur, bu da taşıma masraflarını ve hasar riskini azaltır.
Günün sonunda üreticilerin önemsediği şey güvenilirlik ve saflıktır-ve bu kurutucu her ikisini de sağlar. Bu, yalnızca endüstri standartlarını karşılamakla kalmayıp, aynı zamanda gerçek üretim ekiplerinin çalışma şekline sorunsuz bir şekilde uyum sağlayan türden bir ekipmandır.
Uygulamalar
Dikey Gofret Kurutucu, SPM asitle temizleme ve organik temizlemeden (kalıntı kontrolünün çok önemli olduğu iki adım) sonra kurutma işini yürütmek üzere tasarlanmıştır. Bunun ötesinde, fotolitografi geliştirme, fotorezist çıkarma, ITO/BOE aşındırma ve döndürerek kaplama için-kurutma sonrası ihtiyaçları da destekler. Buradaki en büyük avantaj tutarlılığıdır: artık kirletici madde veya parçacık sorununun kalmamasını sağlayarak proses kalitesini partiden partiye sabit tutar.
Bu Dikey Wafer Kurutucu aynı zamanda yüksek-riskli uygulama senaryolarında da öne çıkar. Mikro-sensörlerin ve yongaların levha düzeyinde paketlenmesinde, parçalanma oranını 1/10.000'in altında tutar-bu rakam, üreticiler için doğrudan maliyet tasarrufu anlamına gelir. Ayrıca,-galyum arsenit ve safir gibi sıcaklığa-hassas olan özel levhaların işlenmesi için de çok uygundur. Bu malzemeler hassastır ancak kurutucu ultra-temizlik ve düşük-hasar gereksinimlerini karşılar; dolayısıyla süreçle ilgili kusurlar konusunda endişelenmenize gerek yoktur.
Avantajları
Proses ortamı gereksinimlerini sağlamak için Mayrinth nitrojen sızdırmazlığı, boşluk ve boşluk izolasyonu, temas sızdırmazlık etkisi yoktur.
Şok çevrimiçi algılama
Elektrostatik eleme fonksiyonu, ürün yüksek hızda statik elektrik üretecek, ürün yüzeyini nötralizasyon durumuna getirmek için yüksek voltajlı elektrostatik giderme cihazının kullanılması
Mekanik kendi kendine-sıfırlama işlevi, yedek çip kutusunun yukarı bakacak şekilde durmasını sağlar
Parametreler
|
Kategori |
Öğe |
Şartname Detayları |
|
Temel Bilgiler |
Ürün Adı |
Dikey çift odacıklı kurutucu |
|
Model Numarası |
YarıTemiz-QX-61-2A-A |
|
|
Boyut (Referans) |
U×D×Y=Yüzey genişliği 490 mm × Derinlik 937 mm × Yükseklik 1880 mm |
|
|
Ağırlık (Yaklaşık) |
260kg |
|
|
Proses Boşluğu ve Kaset |
Proses Boşluğu |
Çift boşluk (üst ve alt), bağımsız olarak kontrol edilebilir; 6" özelleştirilmiş taşıyıcı rotoru yerleştirebilir |
|
Kullanılan Kaset Tipi |
KM-40N (100 mm), A182-60MB (150 mm) |
|
|
Temizleme ve Kurutma Parçalarının Özellikleri |
2 adet 4" özel rotorla donatılmıştır; kaset müşteri tarafından sağlanır, rotor parçaları nihai tasarım örnekleridir |
|
|
Operasyonel Parametreler |
İşlem Süresi Ayarı |
1s - 900s; bakım doğruluğu ±%5'e eşit veya daha az |
|
Çalışma Hızı |
100-2500 rpm/dak (ürün özelliklerine ve prosese göre ayarlanabilir); hız hatası < ±%2 |
|
|
Hazne Kurutma Sıcaklık Aralığı |
Minimum: 45 dereceden büyük veya eşit; Maksimum: 85 dereceden az veya eşit |
|
|
Kuru Temizleme Gereksinimi |
0,3μm'den büyük veya eşit parçacıklar < 30 tane/gofret |
|
|
Ekipman ÇALIŞMA SÜRESİ |
%95'ten büyük veya eşit; ortalama aylık sorunsuz-serbest çalışma süresi 648 saatten fazla veya ona eşit |
|
|
Operasyon Parçalanma Oranı |
1/10000'den küçük veya ona eşit |
|
|
Medya Gereksinimleri |
Deiyonize Su |
Basınç aralığı: 0,2~0,4Mpa; maksimum akış: 0,7m³/saat |
|
Azot |
Basınç aralığı: 0,5~0,6Mpa; maksimum tüketim: 18-20m³/saat; Isıtma ve sızdırmazlık için kullanılır |
|
|
İşlevler ve Koruma |
Sprey Temizleme |
Sprey temizleme cihazı ve boşluk-kendi kendini temizleme işlemiyle donatılmıştır |
|
Çalışma Sırasında Sızdırmazlık |
Nitrojenle kapatılmış hazne kapısı ve motor şaftı |
|
|
Sızıntı Tespiti |
Yerleşik-sızıntı sensörü; Sızıntıyı önlemek için sızıntı alarmını tetikler |
|
|
Proses Koruması |
Bir işlem tamamlandıktan sonra, ürünleri çıkarmak için kapı açılmazsa arayüz çalıştırılamaz, böylece ikincil işlem önlenir |
|
|
Kontrol Sistemi |
Çekirdek Kontrolü |
PLC programlanabilir kontrol; 10 süreç bölümünü kaydeder (bölüm başına 10 adım); kullanıcılar her alt-işlevi gerektiği gibi açıp kapatabilir |
|
İzin Kontrolü |
Her biri izin parolasıyla yapılandırılmış 2 tür çalışma izni kontrolü |
|
|
Ekran Fonksiyonu |
Ekran her işlemin bilgilerini görüntüler |
|
|
Kontrol Modu ve Arayüz |
Her oda bağımsız olarak kontrol edilebilir; çalışma arayüzü: LCD dokunmatik ekran |
SSS
Bu Dikey Gofret Kurutucu hangi endüstriler için üretilmiştir?
Öncelikle yarı iletken ve mikroelektronik sektörlerine,-yüksek saflıkta yonga levha kurutmanın-pazarlığa açık olmadığı senaryolara göre tasarlanmıştır. Tasarımının her parçası bu endüstrilerin benzersiz ihtiyaçlarına dayanıyor.
Hangi temel süreçleri yönetebilir?
Bir dizi temel gofret işleme adımını kapsar. Spesifik olarak, SPM asit temizliği, organik solvent temizliği, fotolitografi geliştirme, fotorezistin çıkarılması, ITO/BOE aşındırma ve döndürerek kaplama sonrasında-kurutma sonrası çalışmalarla (tamamen kurumanın önemli olduğu tüm kritik noktalar) ilgilenir.
Çift{0}boşluklu tasarımının avantajı nedir?
Üst ve alt boşluklar bağımsız olarak çalışır-her birini ayrı ayrı kontrol edebilirsiniz. Bu, gofretleri aynı anda her ikisinde de işleyebileceğiniz anlamına gelir; bu da üretim verimliliğini gerçekten artırır. Ayrıca, eğer farklı prosesler farklı parametrelere ihtiyaç duyuyorsa, her boşluk kendi ayarlarını mükemmel bir şekilde gerçekleştirebilir.
Kuruduktan sonra temizlik standardı nedir?
Oldukça katı ve iyi bir nedeni var. Kuruduktan sonra her bir levhada 0,3μm veya daha büyük 30'dan az parçacık bulunur. Bu, yarı iletken üretiminin yüksek-saflık talepleri ile tam olarak uyumludur.
Çalıştırılması kolay mı?
Kesinlikle. LCD dokunmatik ekranı ve son derece sezgisel-PLC programlanabilir kontrolüyle birlikte gelir. En fazla 10 süreç bölümünü saklayabilirsiniz ve her bölümde 10 adım bulunabilir. Ayrıca güvenlik için ikili-izinli şifre yönetimi de mevcuttur. Yeni operatörler bile temel bilgileri hızla anlıyor.
Ekipman ne kadar güvenilir?
Operasyonel istikrarı büyük bir satış noktasıdır. Ekipmanın ÇALIŞMA SÜRESİ en az %95'e ulaşıyor ve her ay ortalama 648 saat veya daha fazla süreyle sorunsuz çalışıyor. Daha da iyisi, çalışma sırasında levha parçalanma oranı 1/10.000'den fazla değildir-böylece ekipman arızalarından dolayı fazla bir şey kaybetmezsiniz.
Hangi medyayı çalıştırması gerekiyor?
Sadece iki tür: deiyonize su ve nitrojen. Deiyonize suyun maksimum 0,7m³/saat akışla 0,2-0,4Mpa arasında bir basınca ihtiyacı vardır. Azot 0,5-0,6Mpa basınç gerektirir ve en fazla 18-20m³/saat tüketir. Sırasıyla temizlik, ısıtma ve sızdırmazlık için kullanılırlar; her biri işin doğru yapılmasında önemli bir rol oynar.
Popüler Etiketler: dikey gofret kurutucu, Çin dikey gofret kurutucu üreticileri, tedarikçiler

