Ürüne genel bakış
Backside Wafer Cleaner, 6–12 inçlik wafer formatlarını destekleyen, yarı iletken wafer arka tarafının temizlenmesi için tasarlanmış özel bir ıslak işleme cihazıdır. Gelişmiş paketleme iş akışları için özel olarak tasarlanan bu ürün, 4 odacıklı bir konfigürasyona, 2 SMIF POD/FOUP taşıyıcı uyumluluğuna ve temel süreç kontrolüne (ısıtma, akış hızı, basınç) sahiptir. Saatte 55-60 levha üretim kapasitesiyle, akıllı fabrika entegrasyonu için güvenlik işlevlerini (aşırı ısınma koruması, sızıntı tespiti) ve SECS/GEM iletişimini entegre eder.
Avantajları
Geniş Gofret Uyumluluğu:
Çeşitli gelişmiş paketleme ihtiyaçlarına uyum sağlayan 6-12 inçlik levhaları destekler.
01
Kararlı Süreç Performansı:
İnceltilmiş levhalar için tutarlılık sağlayarak, levha çarpıklığını ±10 mm dahilinde kontrol eder.
02
Verimli Verim:
Hız ve temizleme kalitesini dengeleyerek saatte 55-60 levha sunar.
03
Esnek ve Güvenli:
İsteğe bağlı DICO2 kimyası/arka taraf koruması; sınıflandırılmış drenaj ve güvenlik izlemesini içerir.
04
Fabrika Entegrasyonu:
MES sistemlerine kusursuz bağlantı için tam SECS/GEM desteği.
05
Uygulamalar
Hedef Alan:Gelişmiş yarı iletken paketleme.
Çekirdek Süreç:İnceltme sonrası gofretlerin arka tarafının temizlenmesi (ambalaj güvenilirliğini sağlamak için inceltme işlemlerinden kalan kalıntıları giderir).
Parametreler
|
Şartname |
Detaylar |
|
Gofret Boyutu |
6-12 inç |
|
Gofret Çarpılma Toleransı |
±10 mm'den az veya eşit |
|
Verim(WPH) |
55-60 gofret/saat |
|
Odalar |
4 odacık |
|
Taşıyıcı Uyumluluğu |
2 SMIF POD/FOUP |
|
Desteklenen Kimyalar |
DICO2 (arka koruma isteğe bağlı) |
|
Proses Kontrol Özellikleri |
Isıtma kontrolü, akış hızı kontrolü, basınç kontrolü |
|
Güvenlik Özellikleri |
Banyo aşırı ısınma koruması, sızıntı tespiti, sınıflandırılmış |
|
İletişim Protokolü |
SECS/GEM |
|
Hedef Uygulama Alanı |
Gelişmiş paketleme |
SSS
Bu arka temizleyici hangi levha boyutlarını destekliyor?
Gelişmiş paketlemede yaygın formatları kapsayan 6-12 inçlik wafer'larla uyumludur.
Başa çıkabileceği maksimum levha çarpıklığı nedir?
Paketleme proseslerinde inceltilmiş gofretler için uygun, ±10mm'ye eşit veya daha az çarpıklığa sahip gofretleri destekler.
Bu cihazın verimi ne kadar hızlı?
Verimlilik ve temizleme kalitesini dengeleyerek saatte 55-60 gofret işleyebilir.
Hangi operatörlerle çalışıyor?
Standart fab lojistik sistemleriyle uyumlu olarak 2 SMIF POD/FOUP taşıyıcısını destekler.
Hangi kimyayı kullanıyor ve arka koruma mevcut mu?
DICO2 kullanır (isteğe bağlı arka koruma yapılandırması sağlanır).
Fabrikamızın MES sistemine bağlanabilir mi?
Evet-tam SECS/GEM iletişim protokolü desteği, MES ile sorunsuz entegrasyon sağlar.
Hangi güvenlik özelliklerine sahiptir?
Banyo aşırı ısınma koruması, sızıntı tespiti ve sınıflandırılmış atık drenajını içerir.
Popüler Etiketler: arka taraf gofret temizleyici, Çin arka taraf gofret temizleyici üreticileri, tedarikçiler
