Ürüne genel bakış
Toplu Plaka Temizleyici-12{{3}inç Modeller ve 8{{7}inç BC Modellerini-dahil olmak üzere, ıslak gravür ve temizleme konusunda uzmanlaşmış, yarı iletken üretiminde ve silikon levha işlemede hassasiyet için tasarlandı. Onu farklı kılan ne? Hem 12-inç hem de 8-inç levhalar için işe yarayan format esnekliğinin yanı sıra, yüksek hacimli 300 mm'lik fabrikalardan eski 200 mm'lik hatlara kadar neredeyse her türlü üretim kurulumuna uyacak şekilde yapılandırılabilir işleme seçenekleri (kasetsiz veya kaset tipi).
Temel olarak tutarlı sonuçlar için önemli olan özelliklerle doludur: gelişmiş kimyasal yönetimi (CCSS/LCSS desteğiyle), dozlama, sıcaklık ve akış hızı için otomatik proses kontrolü ve endüstri standardı-SECS/GEM iletişimi. Ancak performansla yetinmedik-güvenlik ve verimlilik de en önemli önceliklerimizdi. İçiniz rahat olsun diye-yerleşik sızıntı tespit ve aşırı ısınma korumasına, ayrıca operasyonların sorunsuz ilerlemesini sağlayacak kimyasal geri kazanım ve atık sınıflandırma özelliklerine sahip olacaksınız. İster dağlama, ister temizleme veya durulama yapıyor olun, bu sistem,-tahminlere gerek kalmadan güvenebileceğiniz tekrarlanabilir sonuçlar sunar.
Avantajları
Format ve İşleme Esnekliği
- 12 inçlik Model:Kaset-siz tasarım (yüksek saflıkta-300 mm'lik plakalar için kirlenme riskini azaltır).
- 8 inçlik Model:Çift kasetsiz/kaset-tipi işleme + SMIF POD/FOUP uyumluluğu (eski/modern 200 mm iş akışlarına uyum sağlar).
Hassas Proses Kontrolü
- Standartlaştırılmış özellikler:Otomatik dozajlama, boşaltma&besleme ve sıcaklığın, konsantrasyonun, akış hızının ve basıncın-gerçek zamanlı düzenlenmesi (toplu-toplu{-toplu partiler arası eşitliği sağlar).
- Gelişmiş kurutma:Marangoni/LPD kurutma (hassas levha yüzeylerinde su lekelerini/kalıntılarını önler).
Maliyet ve Operasyonel Verimlilik
BC3100'e özel kimyasal geri kazanımı (kimyasal tüketimini ve israfı azaltır).
Toplu aşırı ısınma koruması + sızıntı sensörleri (arıza süresini ve malzeme kaybını en aza indirir).
Fabrika Entegrasyonu ve Uyumluluk
Tam SECS/GEM protokolü desteği (akıllı fabrika iş akışları için MES bağlantısına olanak tanır).
- 8 inçlik model:Ayrı drenaj (tehlikeli atık sınıflandırmasını ve mevzuata uygunluğu kolaylaştırır).
Uygulamalar
Entegre Üretim Süreçleri
- RCA temizliği
- PR ıslak şerit
- Dielektrik katman ıslak aşındırma
- Metal katman ıslak aşındırma
Silikon Gofret İşleme
- Alkali gravür
-Son-cila temizliği
- Ön-temizlik
- Son durulama
Model-Özel Kullanım Durumları
- 12-inç Model: Yüksek-hacimli 300 mm üretim için üretilmiştir. Tam hızda çalışan büyük mantık ve bellek yongası fabrikalarını düşünün.
- 8-inç Model: 200 mm'lik levha hatları için idealdir. Temel sistemleri destekleyen otomotiv yarı iletkenleri ve eski mikroelektronikler- için idealdir.
Parametreler
|
Parametre |
12 inçlik Model |
8 inç BC Modeli |
|
Gofret Boyutu |
12 inç (300 mm) |
8 inç (200 mm) |
|
Araç Türü |
Kaset-az |
Kasetsiz veya Kaset tipi |
|
Gofret Kapasitesi/Adım |
N/A |
50 levha (25 levha/kaset x2)/ 10 mm aralık |
|
Desteklenen Operatörler |
N/A |
SMIF POD/FOUP |
|
Kimyasal Tedarik Desteği |
CCSS, LCSS |
CCSS,LCSS |
|
Kurutma Teknolojisi |
Marangoni kuru veya LPD |
Marangoni kuru, LPD kuru |
|
Kimyasal Yönetimi |
Otomatik dozajlama, boşaltma ve besleme; |
Otomatik dozajlama, boşaltma ve besleme; |
|
Güvenlik Özellikleri |
Banyo aşırı ısınma koruması; sızıntı sensörleri(birim-seviye) |
Banyo aşırı ısınma koruması; sızıntı tespiti; ayırmak |
|
Kimyasal Geri Kazanım |
Destekleniyor |
Belirtilmedi |
|
İletişim Protokolü |
Tam SECS/GEM desteği |
Tam SECS/GEM desteği |
|
Kaset İletimi |
Belirtilmedi |
Destekleniyor |
SSS
S: BC Serisi hangi levha boyutlarını destekliyor?
C: BC3100, 12 inçlik (300 mm) levhaları işler; 8 inçlik BC modeli 8 inçlik (200 mm) levhaları destekler.
S: BC Serisi kasetlerle çalışabilir mi?
C: BC3100 kasetsiz-bir tasarım kullanır; 8-inçlik model hem kasetsiz hem de kaset tipi kullanımı destekler.
S: Hangi temel işlemleri gerçekleştiriyor?
C: Yarı iletkenler/levhalar için RCA temizliği, PR şeridi, dielektrik/metal aşındırma ve-son cila temizliği işlemlerini gerçekleştirir.
S: Fabrika entegrasyonunu destekliyor mu?
C: Evet-her iki model de MES bağlantısı için SECS/GEM iletişim protokolünü tam olarak destekler.
S: Hangi güvenlik özelliklerine sahip?
C: Standart özellikler arasında banyonun aşırı ısınma koruması ve sızıntı tespiti yer alır; 8 inçlik model ayrı atık drenajı sağlar.
Popüler Etiketler: toplu gofret temizleyici, Çin toplu gofret temizleyici üreticileri, tedarikçiler
