Ürüne genel bakış
Bu levha kaplama ekipmanı,-12-inçlik yarı iletken levhalar için özel olarak tasarlanmış olup, 90 nm'den 28 nm'ye kadar teknoloji düğümlerini kapsayan, ikili damassen bakır ara bağlantı işlemleri için özel olarak tasarlanmıştır.
Kusursuz bir iş akışı için ihtiyacınız olan tüm bileşenlerle dolu, tamamen entegre bir çalışma tezgahıdır: 3 yükleme portu, 4 elektrokaplama odası, 4 kenar eğim çıkarma (EBR) temizleme odası, 8 tavlama odası ve çift bağımsız Banyo tesisat sistemi. İşi tamamlamak için ekstra-eklentilere gerek yok.
Kaputun altında, kaplama kalitesini kaya{0}}sağlam tutan temel teknolojiler bulunur: otomatik asit karıştırma, vakum/gaz modülleri ve otomatik kaldırma anot sistemleri. Peki, sürecinizde-daha fazla ince ayar yapmak isterseniz? Optimizasyona ulaşmak ve verimi tutarlı tutmak için mükemmel olan kaplama çözümü analizi (EC1) işlevini- tercih edin.
Özellikler & Ckonfigürasyonlar
- Maksimum 3 yük bağlantı noktası
- Maksimum 24 kaplama odası: Cu, Ni, Sn/Ag, Au
- Maksimum 4 ön-ıslak oda, 4 SRD odası
- Çeşme tipi kaplama hücresi tasarımı, çapraz bulaşma riski yok
- Modül PM tasarımı, yüksek takım çalışma süresi
- Mühür teknolojisi, iyi sızdırmazlık performansı
- Katolit/anolit ayırma teknolojisi, iyi çözüm kararlılığı
Uygulamalar
Çekirdek Alanı:Yarı iletken ön uç üretimi-(wafer üretimi).
Anahtar Süreç:12 inçlik plakalar için çift damassen bakır ara bağlantı elektrokaplama (90/65/55/40/28nm teknoloji düğümlerinde uygulanır, çip yapılarında iletken bakır çizgiler oluşturur).
Parametreler
|
Şartname |
Detaylar |
|
Gofret Boyutu |
12 inç |
|
Hedef Teknoloji Düğümleri |
90/65/55/40/28 nm |
|
Temel Süreç |
Çift Şam Bakır Ara Bağlantı Elektrokaplama |
|
Ekipman Yapılandırması |
-3 Yük bağlantı noktaları |
|
Anahtar Sistemler |
- Otomatik Asit Karıştırma sistemi |
|
İsteğe Bağlı Özellik |
Kaplama çözüm analizi EC1 |
|
Uygulama Alanı |
Yarı iletken ön uç üretimi- |
SSS
Bu ekipman hangi plaka boyutunu destekliyor?
Özel olarak 12 inç (300 mm) yarı iletken plakalar için tasarlanmıştır.
Hangi çip teknolojisi düğümleriyle uyumludur?
90/65/55/40/28nm teknoloji düğümleri için çift şam bakır ara bağlantı işlemlerini destekler.
Hangi temel süreçleri ele alıyor?
Bakır elektrokaplama, kenar boncuk çıkarma (EBR temizleme) ve tavlamayı tek bir sistemde birleştirir.
Bağımsız çözüm yönetimi var mı?
Evet-kaplama çözümünün stabilitesini sağlamak için 2 ayrı Banyo tesisat sistemiyle donatılmıştır.
Kaplama solüsyonunun kalitesini izleyebilir mi?
Gerçek zamanlı çözüm izleme için isteğe bağlı bir kaplama çözümü analizi EC1 modülü mevcuttur.
Kaç tane gofreti verimli bir şekilde işleyebilir?
3 yük bağlantı noktası ve entegre işlem odalarıyla, yüksek-iş hacmine sahip ön-uç üretim iş akışlarını destekler.
Popüler Etiketler: gofret kaplama ekipmanları, Çin gofret kaplama ekipmanları üreticileri, tedarikçiler
