Ürüne genel bakış

SCD 12, yarı iletken litografi işlemine yönelik 12-inçlik otomatik döndürerek-kaplayıcı ve geliştirici izleme ekipmanıdır. 300 mm'lik plaka üretimi için tasarlanmış olup esnek oda konfigürasyonunu destekleyen modüler-mimari tasarımı benimser. Entegre devreler, gelişmiş paketleme, güç cihazları ve diğer alanlara yönelik seri üretim ve Ar-Ge senaryolarını kapsayan litografi pozlama araçlarıyla hat içi bağlantıyı gerçekleştirebilir.

Ultra-ince ve çarpık levhaları işleyebilir, parça değiştirmeye gerek kalmadan çift- levha-boyutlu geçişi destekler ve ana akım yarı iletken litografi işlemleriyle tamamen uyumludur.

Avantajları

Yüksek-kapasite ve kompakt kaplama alanı Modüler işlem-birimi tasarımı, yüksek verim, değerli temiz oda alanından-tasarruf sağlar. Proses odaları müşteri gereksinimlerine göre esnek bir şekilde yapılandırılabilir.

Güçlü-bükülmüş levha işleme kapasitesi 5 mm'nin altında çarpıklığa sahip ultra-ince ve eğrilmiş levhalar için istikrarlı aktarım ve işlemeyi destekleyerek, özel-alt tabaka imalatındaki zorlukları çözer.

Donanım değiştirmeye gerek kalmadan çift{0}boyut uyumluluğu Mekanik parça değişimine gerek kalmadan farklı levha boyutları arasında- geçiş yapın, geçiş süresini kısaltın ve işletme maliyetini azaltın.

Satır içi-litografi araçlarına hazır İsteğe bağlı Arayüz modülü, tam otomatik parça-litografi iş akışını gerçekleştirerek ana akım litografi pozlama makineleriyle-hat içi yerleştirmeyi destekler.

Zengin işlevsel-modül seçenekleri Yüksek-hassas sıcak plakayı, optik hizalamayı, WEE levha kenarı pozlamasını ve çeşitli-süreç gereksinimlerini karşılamak için diğer isteğe bağlı bileşenleri destekler.

Parametreler

Öğe	Şartname
Modeli	SCD 12 12-inç Döndürerek Kaplayıcı ve Geliştirici
Gofret Boyutu	12-inç (300 mm), parça değişimi gerektirmeden çift boyutlu uyumlu
Yüzey Malzemesi	Evet, Cam
Oda Yapılandırmaları	2C2D / 4C / 4D / 4C4D (özelleştirilebilir)
Desteklenen Litografi Süreci	i-line, KrF, ArF, PI, SOG, SOC
Uygulanabilir Litografi Çizgi Genişliği	90 nm'den büyük veya eşit
Maksimum Verim	110 WPH (tarife ve konfigürasyona bağlıdır)
Çarpık Gofret Uyumluluğu	Çarpıklık desteği 5 mm'ye eşit veya daha az ultra-ince / çarpık levha aktarımı ve işlenmesi
Boyut (G × D × Y)	4970 × 1973 × 2460 mm
Satır İçi İşlev	Litografi makinesine bağlanmak için isteğe bağlı Arayüz modülü
Opsiyonel Birimler	Yüksek-hassas sıcak plaka, optik hizalama, WEE levha kenarı pozlama modülü
Kontrol Modu	Yerel kontrol / uzaktan fabrika otomasyon kontrolü
Sertifikasyon	YARI S2 ile uyumlu

SSS

S: SCD 12 hangi alt tabakaları ve levha boyutlarını destekliyor?

C: Esas olarak Si ve Cam yüzeyleri destekleyen 12 inç (300 mm) levhalar için. Yedek parça değiştirmeye gerek kalmadan çift boyutlu geçişi destekler ve çarpıklığı 5 mm'ye eşit veya daha az olan eğrilmiş/ultra ince levhaları işleyebilir.

S: Bu makine hangi litografi işlemlerini yürütebilir?

C: 90 nm'den büyük veya eşit litografi çizgi genişliğine uygun i line, KrF, ArF, PI, SOG, SOC işlemlerini destekler.

S: SCD 12 litografi tarayıcıya/stepper'a bağlanabilir mi?

C: Evet. Ana akım litografi pozlama makineleriyle hat içi bağlantı sağlamak için isteğe bağlı Arayüz modülünü seçin.

S: Hangi oda konfigürasyonları seçilebilir?

C: Mevcut konfigürasyonlar: 2C2D / 4C / 4D / 4C4D. Müşteriler, proses gereksinimlerine göre yüksek hassasiyetli sıcak plaka, optik hizalama, WEE, Hat içi arayüz modülü dahil olmak üzere isteğe bağlı üniteler ekleyebilirler.

S: Gerçek verim nedir?

C: Maksimum verim 110 WPH'dir. Gerçek dünya verimi, gerçek oda konfigürasyonuna ve üretim tarifine göre değişir.

S: SCD 12 hem seri üretime hem de laboratuvar Ar-Ge'sine uygun mudur?

C: Evet. Esnek modüler konfigürasyon, yüksek hacimli seri üretim fabrika taleplerini karşılayabilir ve aynı zamanda araştırma enstitülerindeki küçük partili Ar-Ge çalışmalarına da uyum sağlayabilir.

Popüler Etiketler: 12 inç spin-kaplayıcı ve geliştirici, Çin 12 inç spin-kaplayıcı ve geliştirici üreticileri, tedarikçileri