Ürüne genel bakış
SCD8, yarı iletken litografi işlemleri için tam-otomatik 8{{5}inçlik döner kaplayıcı ve geliştirici kanalıdır. Modüler tasarım felsefesi üzerine inşa edilmiş olup, birden fazla oda kombinasyonunu destekler ve litografi sistemleriyle hat içi bağlantı için bir Arayüz modülü ile donatılabilir. Ekipman Si, Cam, SiC ve diğer alt tabakaları işleyerek yüksek hacimli üretimin yanı sıra güç cihazları, MEMS, RF entegre devreleri ve gelişmiş paketlemeye yönelik Ar-Ge hizmetlerini de karşılıyor. i-line, KrF, ArF, PI, SOG, SOC litografi iş akışları için istikrarlı performans sunar.
Avantajları
Donanım değiştirmeye gerek kalmadan çift{0}boyut uyumluluğu Mekanik parçaları değiştirmeden farklı levha boyutları arasında geçiş yapın, böylece zaman içindeki ürün değişimini ve işletme maliyetini-azaltın.
Litografi araçları için hat içi bağlantı mevcuttur İsteğe bağlı Arayüz modülü, tam-otomatik parça-litho iş akışını gerçekleştirmek için ana akım litografi pozlama makineleriyle hat içi bağlantıya olanak tanır.
Zengin, isteğe bağlı işlevsel modüller Yüksek-hassasiyetli sıcak plakayı, optik hizalamayı, WEE levha kenarı pozlamasını ve çeşitli süreç gereksinimlerini karşılamak için-diğer eklentileri destekler.
Fabrika-otomasyonuna hazır Yazılım, akıllı-fabrika yönetimi taleplerine uyum sağlayarak hem yerel çalışmayı hem de uzaktan fabrika otomasyon kontrolünü destekler.
Geniş alt tabaka uyumluluğu Silikon, cam ve silikon karbürü (SiC) destekler;-geniş bant aralıklı yarı iletken üretimi için çok uygundur.
Parametreler
|
Öğe |
Şartname |
|
Modeli |
SCD8 8-inç Spin Kaplayıcı ve Geliştirici |
|
Gofret Boyutu |
8-inç (200 mm), parça değişimi gerektirmeden çift boyutlu uyumlu |
|
Yüzey Malzemesi |
Si, Cam, SiC |
|
Oda Yapılandırmaları |
2C2D / 4C / 4D / 4C4D (özelleştirilebilir) |
|
Desteklenen Litografi Süreci |
i-line, KrF, ArF, PI, SOG, SOC |
|
Çarpık Gofret Uyumluluğu |
Çarpıklık desteği 5 mm'ye eşit veya daha az ultra-ince / çarpık levha aktarımı ve işlenmesi |
|
Boyut (G × D × Y) |
4053 × 1750 × 2460 mm |
|
Satır İçi İşlev |
Litografi makinesi hat içi yerleştirme için isteğe bağlı Arayüz modülü |
|
Opsiyonel Birimler |
Yüksek-hassas sıcak plaka, optik hizalama, WEE levha kenarı pozlama modülü |
|
Kontrol Modu |
Yerel kontrol / uzaktan fabrika otomasyon kontrolü |
|
Sertifikasyon |
YARI S2 ile uyumlu |
SSS
S: SCD8 hangi alt tabakaları ve levha boyutlarını destekliyor?
C: Esas olarak 8 inç (200 mm) levhalar için tasarlanmıştır. Desteklenen yüzeyler Si, Cam ve SiC'yi içerir. Parça değişimi olmadan çift boyutlu geçişi destekler ve çarpıklığı 5 mm'ye eşit veya daha az olan eğrilmiş/ultra ince levhaları işleyebilir.
S: Hangi litografi işlemleri SCD8 ile uyumludur?
C: IC, geniş bant aralıklı yarı iletken ve MEMS süreç ihtiyaçlarını kapsayan i line, KrF, ArF, PI, SOG, SOC litografi süreçlerini destekler.
S: SCD8, litografi tarayıcılara/stepper'lara hat içi bağlanabilir mi?
C: Evet. İsteğe bağlı Arayüz modülüyle donatılmış olup, ana akım litografi pozlama makineleriyle hat içi yerleştirmeyi gerçekleştirebilir.
S: Hangi oda konfigürasyonlarını seçebilirim?
C: Mevcut konfigürasyonlar: 2C2D / 4C / 4D / 4C4D. İsteğe bağlı eklentiler: yüksek hassasiyetli sıcak plaka, optik hizalama, WEE, Arayüz hat içi modülü.
S: SCD8'in hedef kullanıcısı kimdir?
C: 8 inç yarı iletken fabrikalar, güç cihazı üreticileri, MEMS / RF işletmeleri ve üniversite ve araştırma enstitüsü laboratuvarları.
S: SCD8 hem seri üretim hem de Ar-Ge için kullanılabilir mi?
C: Evet. Esnek modüler konfigürasyonlar, yüksek hacimli seri üretim hatlarının ihtiyaçlarını karşılar ve aynı zamanda küçük partili deneysel Ar-Ge senaryolarına da uygundur.
Popüler Etiketler: 8 inç döndürerek kaplayıcı ve geliştirici, Çin 8 inç döndürerek kaplayıcı ve geliştirici üreticileri, tedarikçiler
