Ürüne genel bakış
SCD6 ve SCD6S, bileşik yarı iletken, güç cihazı, MEMS ve optoelektronik üretime yönelik kompakt 6 inçlik otomatik döndürerek kaplayıcı ve geliştirici sistemleridir.
SCD6: Güç cihazı ve LED üretimi için hedeflenmiştir. Kompakt yapıyı benimser, Si, Safir, GaAs, GaN, SiC, InP, LT, LN gibi alt katmanları destekler ve G-line / i-line işlemlerine uyar.
SCD6S: MEMS, RF entegre devre, optik iletişim ve laboratuvar araştırmalarına yöneliktir. Glass'ın malzeme uyumluluğunu genişletir ve PI süreç yeteneğini ekleyerek çeşitli Ar-Ge ve pilot-üretim görevleri için daha yüksek esneklik sağlar.
Her iki model de az yer kaplar, parça değiştirmeye gerek kalmadan çift{0}boyut uyumluluğu, hassas fotorezist ölçüm pompası beslemesi ve EBR, BSR ve nozül otomatik-temizliği gibi kapsamlı yerleşik işlevlere sahiptir.
Avantajları
Farklı senaryolar için model farklılaştırma SCD6, güç / LED seri-üretimi için optimize eder; SCD6S, MEMS, RF ve araştırma odaklı kullanıcılar için PI süreci ve cam-alt tabaka desteği ekler-.
Esnek isteğe bağlı modüller Farklı proses gereksinimlerini karşılamak için fotorezist/geliştirici sıcaklık kontrolünü ve HMDS buhar hazırlama modülünü destekler.
Eksiksiz izlenebilirlik yeteneği Ekipman arıza günlükleri ve süreç parametresi kayıtları için{0}}uzun vadeli depolama, kalite takibi ve süreç analizi için uygundur.
Kapsamlı standart işlem işlevleri Sabit litografi kalitesini sağlamak için{0}yerleşik EBR, BSR, RRC, tutkal püskürtme ucu otomatik nemlendirme ve temizleme işlevleri.
Yüksek-hassasiyette fotorezist dağıtımı Fotorezist beslemesi, yüksek dozlama doğruluğu ve stabil sıvı beslemesi için hassas ölçüm pompası; dağıtım hacmi için kolay tarif kurulumu.
Parametreler
|
Öğe |
SCD6 |
SCD6S |
|
Modeli |
SCD6 6-inç Spin Kaplayıcı ve Geliştirici |
SCD6S 6 inç Döndürerek Kaplayıcı ve Geliştirici |
|
Gofret Boyutu |
6-inç (150 mm), parça değişimi gerektirmeden çift boyutlu uyumlu |
6-inç (150 mm), parça değişimi gerektirmeden çift boyutlu uyumlu |
|
Yüzey Malzemesi |
Si, Safir, GaAs, InP, GaN, SiC, LT, LN |
Si, Cam, Safir |
|
Oda Yapılandırmaları |
2C2D / 4C / 4D |
3C / 4C / 6D |
|
Desteklenen Litografi Süreci |
G-satır, i-satır |
G-line, i-line, PI |
|
Ekipman Boyutu (G × D × Y) |
1050 × 1900 × 2200 mm |
1500 × 1450 × 2200 mm |
|
Opsiyonel Birimler |
Fotorezist / geliştirici sıcaklık kontrolü, HMDS modülü |
Fotorezist / geliştirici sıcaklık kontrolü, HMDS modülü |
|
Çekirdek yerleşik-işlevler |
EBR, BSR, RRC, nozul otomatik-nemlendirme ve temizleme |
EBR, BSR, RRC, nozul otomatik-nemlendirme ve temizleme |
|
Kontrol Modu |
Yerel kontrol, uzun-dönemli tarif ve hata günlüğü depolaması |
Yerel kontrol, uzun-dönemli tarif ve hata günlüğü depolaması |
|
Sertifikasyon |
YARI S2 ile uyumlu |
YARI S2 ile uyumlu |
SSS
S: SCD6 ve SCD6S arasındaki fark nedir?
C: SCD6, G line / i line işlemleriyle çeşitli bileşik yarı iletken alt katmanları (Safir, GaN, SiC vb.) destekleyen, güç cihazı ve LED seri üretimi için optimize edilmiştir. SCD6S, MEMS, RF IC, optik iletişim ve laboratuvar Ar-Ge senaryoları için daha uygun olan PI işlem kapasitesi ve cam alt tabaka uyumluluğu sağlar. Oda konfigürasyonları ve fiziksel boyutları da farklıdır.
S: SCD6 / SCD6S, levha boyutu değiştirmeyi destekliyor mu?
C: Evet. Her iki model de yedek parça değiştirmeye gerek kalmadan çift boyut uyumluluğunu destekleyerek ürün değiştirme süresini kısaltır.
S: Hangi isteğe bağlı modüller seçilebilir?
C: Fotorezist ve geliştirici sıcaklık kontrol modülü, HMDS hazırlama modülü hem SCD6 hem de SCD6S için mevcuttur.
S: Makine süreç ve hata geçmişini saklayabilir mi?
C: Evet. Proses parametreleri ve ekipman arıza kayıtları, kaliteli geri izleme ve proses hata ayıklaması için uzun vadede kaydedilebilir.
S: Seri üretime mi yoksa sadece laboratuvar kullanımına mı uygunlar?
C: Her ikisi de küçük seri seri üretimi ve laboratuvar Ar-Ge'sini destekliyor. SCD6 daha çok güç / LED hacim üretimine yöneliktir; SCD6S pilot üretim ve araştırma projelerine uygundur.
Popüler Etiketler: 6 inç spin-kaplayıcı ve geliştirici, Çin 6 inç spin-kaplayıcı ve geliştirici üreticileri, tedarikçileri
