Ürüne genel bakış
Sprey Kaplayıcı Ekipmanı, derin-delik desenleri, yüksek-en-boy oranı adımları, yuvarlak ve kare alt tabakaları olan levhalar için tasarlanmış otomatik bir sprey fotodirençli kaplama sistemidir.
Ultrasonik atomizasyon fotodirenç püskürtme teknolojisini benimseyen ekipman, basamak yüzeylerinde, kenarlarda, yan duvarlarda ve derin yapıların alt kısmında tek tip fotodirenç kapsama alanı sağlar. Sistem, bağlantılı kaplama geliştirme iş akışlarını yerine getirmek için entegre kaplama odaları ve geliştirme odaları ile yapılandırılabilir. TSV derin delik ve yüksek-en-boy oranlı yapı uygulamaları için düz-püskürtme bütünlüğü ve mükemmel adım kapsama performansı sunar. Bilimsel araştırma denemesi-çalışması ve seri-üretim üretiminin gereksinimlerini karşılamak için birden fazla hazne seçeneği mevcuttur.
Avantajları
Karmaşık Topografya için Üstün Kaplama Performansı
Ultrasonik atomizasyon püskürtme teknolojisi, dik yan duvarlarda, derin delik tabanlarında ve levha kenarlarında tutarlı fotodirenç kaplaması sağlar. Yüksek-en-boy oranlı özelliklerde geleneksel döndürerek kaplayıcının karşılaştığı zayıf kapsama sorunlarını çözer.
Mükemmel Süreç Göstergeleri
Düz{0}}sprey homojenliği %5@5-10 μm'ye ulaşır ve adım kapsamı %30'dan büyük veya buna eşittir. Kararlı kaplama kalitesi sonraki litografi ve gravür işlemlerini destekler.
Esnek Oda Genişletilebilirliği
İsteğe bağlı Kaplayıcı (COT) ve Geliştirici (DEV) modülleriyle 2-4 odayı destekler. Entegre kaplama geliştirme konfigürasyonu, farklı üretim ihtiyaçları için proses akışını basitleştirir.
Farklı Senaryolar için Modüler Özelleştirme
Laboratuvar Ar-Ge ve pilot testleri için kompakt konfigürasyon; Yüksek verimli seri üretim için-genişletilmiş çok odalı kurulum-.
Uygulamalar
-
Gelişmiş Paketleme (TSV Derin Delik Prosesi)
-
MEMS Cihazları
-
Güç Yarı İletken Cihazları
-
RF Entegre Devreler
-
Yarı İletken Optikler
-
Optik Haberleşme Bileşenleri
-
Üniversite ve Araştırma Enstitüsü Laboratuvarları
Parametreler
|
Öğe |
Şartname |
|
Modeli |
ASP Serisi |
|
Proses Fonksiyonu |
Fotorezist sprey kaplama; isteğe bağlı geliştirme fonksiyonu (COT / DEV modülü) |
|
Desteklenen Yüzeyler |
Si, Cam, yuvarlak ve kare desenli yüzeyler |
|
Oda Yapılandırması |
2-4 odacıklı (COT, DEV isteğe bağlı) |
|
Düz-sprey Tekdüzeliği |
5% @5-10 μm |
|
Adım Kapsamı |
%30'dan büyük veya eşit |
|
Anahtar Teknoloji |
Ultrasonik atomizasyon fotodirenç püskürtme |
|
İşleme Modu |
Otomatik sprey kaplama |
|
Genel Boyut |
2665 × 2825 × 2550 mm (G×D×Y) |
SSS
S: Geleneksel döner kaplayıcıyla karşılaştırıldığında sprey kaplayıcının temel avantajı nedir?
C: Spin kaplayıcı esas olarak düz levha yüzeylerine uygundur. Sprey kaplayıcı, ultrasonik atomize fotorezist uygulayarak derin delikler, yan duvarlar ve yüksek en boy oranlı adımlarda etkili kapsama sağlar. Karmaşık yüzey topografyasına sahip TSV ve MEMS cihazları için idealdir.
S: Bu makine hem kaplamayı hem de geliştirmeyi tek bir ünitede tamamlayabilir mi?
C: Evet. Sistem isteğe bağlı COT (kaplama) ve DEV (geliştirme) odalarını destekler. Müşteriler, proses akışına göre bağımsız sprey kaplayıcı veya kombine kaplayıcı geliştirici konfigürasyonunu seçebilir.
S: Yuvarlak levhaların yanı sıra kare alt tabakaları da destekliyor mu?
C: Evet. Püskürtmeli kaplama mekanizması, döndürerek kaplama ile iyi işlenemeyen cam parçaları gibi hem yuvarlak levhalar hem de kare alt tabakalar ile uyumludur. Tarif değerlendirmesi için lütfen alt tabaka boyutunu sağlayın.
S: Hangi adım kapsama performansını bekleyebilirim?
C: Optimize edilmiş tariflerde adım kapsamı %30'dan büyük veya buna eşittir. Gerçek dünya sonuçları gerçek özellik derinliğine, en boy oranına ve fotodirenç türüne tabidir. Süreç ayarlama desteği sunuyoruz.
S: Küçük toplu laboratuvar yapılandırması mevcut mu?
C: Evet. Hazne miktarı 2 4 hazneden yapılandırılabilir. Kompakt versiyonlar Ar-Ge denemeleri için uygundur, çoklu odacıklı kurulum ise seri üretim hatlarına hizmet eder.
S: Hangi fotodirenç türleri ASP sprey kaplayıcıyla uyumludur?
C: Standart yarı iletken fotorezistlerin çoğuna uyum sağlar. Projenin uygulanmasından önce fizibilite doğrulaması için lütfen fotorezist modelinizi ve viskozitenizi paylaşın.
Popüler Etiketler: sprey kaplayıcı ekipmanı, Çin sprey kaplayıcı ekipmanı üreticileri, tedarikçiler
