Yarı İletken Üretiminde Yeni Bir Zirveye Güç Veriyoruz! Nice Tech, Hassasiyet ve Verimliliği Dengeleyen İkili-Serisi LPCVD Ekipmanını Piyasaya Sürüyor
Yarı iletken donanımdaki gelişmeleri takip ediyorsanız, LPCVD araçlarının-özellikle hem Ar-Ge hem de seri üretimle dengede duran ekipler için ne kadar güvenilir olduğunu bilirsiniz. Nice Tech'in az önce-tanıttığı Yatay ve Dikey LPCVD serisinin oyunun kurallarını-değiştirecek bir seri olmasının nedeni budur. Bunlar sadece "başka bir makine seti" değil; mühendislerden duyduğumuz gerçek sorunları gidermek için tasarlandılar: lekeli film bütünlüğü, katı levha boyutu sınırları ve işlemler arasında geçiş yapma zorluğu.
LPCVD'ye yeni başlayan herkes için: Bu, levhaları kaplamak için gaz bileşiklerini düşük basınç altında ısıtarak önemli yarı iletken filmler-silikon nitrür, oksit, polikristalin silikon-yapmanın omurgasını oluşturur. Nice Tech yıllardır bu teknoloji üzerinde ince ayarlar yapıyor ve bu iki modelle farklı ekiplerin gerçekte neye ihtiyaç duyduğuna odaklanmış durumda.
Önce Yatay LPCVD'yi alın. Bir hafta yeni süreçleri test eden ve sonraki-küçük seri üretimi hızlandıran Ar-Ge ekipleri gibi birden fazla şapka takan kişiler için tasarlandı. Oksidasyon, difüzyon ve tavlama arasında zahmetsizce geçiş yapar, bu da ayrı aletlerle hokkabazlık yapmaya kıyasla çok daha fazla zaman tasarrufu sağlar. Laboratuvarların ekipmanı yeniden yapılandırmak için saatler harcadığını gördük; bu şunu kesiyor. 8-inç ve daha küçük levhaları ve film tekdüzeliğini işliyor mu? Sürekli olarak ±%2'nin altında. Ayrıca, yapısı, kesinti olmaksızın haftalarca süren zorlu çalışmalardır; bu, sıkı bir proje zaman çizelgesinde olduğunuzda önemlidir.
Yatay LPCVD
Ayrıca büyük ligler için tasarlanmış Dikey LPCVD var: 6-12 inçlik plakaların seri üretimi. Hattınız tamamen otomasyona yönelikse (ve gerçek olalım, modern tesislerin çoğu öyle), bu tam olarak buna uyuyor. Artık işleri yavaşlatan manuel ayarlamalar yok-akıllı üretim hatlarıyla sorunsuz bir şekilde senkronize oluyor. SiC ince-film birikimini de çiviler; bu, geniş bant aralığına sahip yarı iletkenlerdeki yüksek-sıcaklık güç cihazları için çok büyük bir değerdir. Buradaki tekdüzelik ±%3'tür, bu büyük ölçekli çalışmalar için fazlasıyla yeterlidir ve kaliteden ödün vermeden sıkı üretim hedeflerini yakalar.
Dikey LPCVD
Her ikisi de bazı akıllı temelleri paylaşıyor: ±0,5 derece dahilinde kalan sıcaklık kontrolü (tutarlı filmler için kritik) ve çoğu ana akım ince film için işe yarayan 500-800 derecelik bir aralık. Peki standart üç filmin ötesinde bir şeye ihtiyacınız varsa? Nice Tech'in ekibi özel bir çözüm üretecek; mühendisleriyle konuştuk ve belirli ihtiyaçlar için süreçlerin ayarlanması konusunda oldukça esnekler.
En çok sevdiğimiz şey şu: Sizi "Ar-Ge aracı" ile "üretim aracı" arasında seçim yapmaya zorlamıyorlar. Horizontal, lityum niyobat veya kuantum çip filmlerini test eden laboratuvarlar için mükemmeldir; Dikey, entegre devreler için 12-inç levha üreten fabrikalarda parlıyor. Peki bakım? Her 6-12 ayda bir, yalnızca boşluğu temizlemek ve sıcaklıkları kalibre etmek - Nice Tech, unutmamanız için hatırlatıcılar bile gönderir.
Nice Tech'in baş mühendisi bunu basitçe şöyle ifade etti: "Biz sadece makineler üretmedik{0}}sizin çalışmanızla birlikte büyüyen bir şey geliştirdik." Buranın havası bu. Bu araçlar kutuları işaretlemekle ilgili değildir; İster yeni bir süreci doğrulamak ister üretimi artırmak olsun, ekiplerin hedeflerine ulaşmasını kolaylaştırmakla ilgilidirler.
Şu anda ön-siparişler açık. Yalnızca tek bir şey yapan veya çalışmaya devam etmek için doktora gerektiren araçlardan sıkıldıysanız, onların ekibine ulaşmaya değer. Bunun, hem laboratuvarda hem de fabrikada ince-film biriktirme-den kaynaklanan baş ağrısını ortadan kaldıracak türden bir donanım olabileceğini düşünüyoruz.
